硅片回收的切片、退火、倒角

硅片回收是新能源回收利用由相关机构回收废或过期原生多晶硅，125太阳能单晶电池片，156太阳能多晶片（整片，碎片），抛光片，头尾料，半导体硅片，及稀有金属硅片回收工艺流程具体介绍如下： 

切片：将单晶硅棒切成具有几何尺寸的薄硅片。此过程中产生的硅粉采用水淋，产生废水和硅渣。 

退火：双工位热氧化炉经氮气吹扫后，用红外加热至300~500℃，硅片表面和氧气发生反应，使硅片表面形成二氧化硅保护层。

倒角：将退火的硅片进行修整成圆弧形，防止硅片边缘破裂及晶格缺陷产生，增加磊晶层及光阻层的平坦度。硅片回收此过程中产生的硅粉采用水淋，产生废水和硅渣。

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